東京電子推出晶圓級(jí)電容式MEMS測(cè)試機(jī)臺(tái)
http://m.hxud.cn 2008-12-08 04:31 中企顧問網(wǎng)
本文導(dǎo)讀：東京電子推出晶圓級(jí)電容式MEMS測(cè)試機(jī)臺(tái)，提供能源礦產(chǎn)、石油化工、IT通訊、房產(chǎn)建材、機(jī)械設(shè)備、電子電器、食品飲料、農(nóng)林牧漁、旅游商貿(mào)、醫(yī)藥保艦交通物流、輕工紡織等行業(yè)專業(yè)研究報(bào)告
東京電子（TEL）在2008年度Semicon-Japan上推出TEMEON?系列之一的晶圓級(jí)MEMS測(cè)試機(jī)臺(tái)TEMEON?-C，用于電容式讀出MEMS器件。
在2006年，TEL推出針對(duì)壓阻式MEMS傳感器晶圓級(jí)測(cè)試的TEMEON?-M ，并已進(jìn)入量產(chǎn)。針對(duì)目前更為復(fù)雜的電容式MEMS器件，TEMEON?-C可實(shí)現(xiàn)在晶圓級(jí)對(duì)加速度計(jì)和陀螺儀等器件精確的電容測(cè)量。
TEMEON?-C使用TEL的專利技術(shù)去除寄生電容以實(shí)現(xiàn)在任何測(cè)試環(huán)境下在晶圓級(jí)精確穩(wěn)定地量測(cè)fF (femto Farad) 量級(jí)的靜態(tài)電容。TEMEON?-C還可以直接量測(cè)動(dòng)態(tài)電容以及MEMS結(jié)構(gòu)的物理位移，反饋共振頻率和品質(zhì)因子（Q-Value），以及通過/失效結(jié)果。
在2006年，TEL推出針對(duì)壓阻式MEMS傳感器晶圓級(jí)測(cè)試的TEMEON?-M ，并已進(jìn)入量產(chǎn)。針對(duì)目前更為復(fù)雜的電容式MEMS器件，TEMEON?-C可實(shí)現(xiàn)在晶圓級(jí)對(duì)加速度計(jì)和陀螺儀等器件精確的電容測(cè)量。
TEMEON?-C使用TEL的專利技術(shù)去除寄生電容以實(shí)現(xiàn)在任何測(cè)試環(huán)境下在晶圓級(jí)精確穩(wěn)定地量測(cè)fF (femto Farad) 量級(jí)的靜態(tài)電容。TEMEON?-C還可以直接量測(cè)動(dòng)態(tài)電容以及MEMS結(jié)構(gòu)的物理位移，反饋共振頻率和品質(zhì)因子（Q-Value），以及通過/失效結(jié)果。
